光切斷法自動對焦高度測量顯微鏡
光切斷法自動對焦高度測量顯微鏡
是日本日商精密光學株式會社推出的新型高精度測量設備,融合光切斷 slit 成像與 spot 光成像技術,搭載自動對焦 AF 追蹤系統,實現非接觸式、高精度的深度、高度、臺階測量,為精密加工件檢測提供高效解決方案。
設備通過連續追蹤 AF 驅動,可重復進行高精度測量,操作簡便快速。利用狹縫成像實時識別測量畫面高低,輕松定位測量部位;通過校驗狹縫像、斑點光像、電子基準線的中心一致性,有效防止誤測,保障數據可靠性。光切斷仰角除標準 90° 外,還可根據用途選擇 30°、60°、120°,適配不同檢測場景。
儀器采用 0.1μm 數字線性標尺讀數,±1μm 以內的重復精度,可精準測量機械加工部件、成型品、薄膜、基板等的表面粗糙度、搭載部件高度位置、沖壓件、模具等精密加工品,也可完成傳統鹵素光源顯微鏡無法測量的試樣檢測。支持自動 / 手動雙模式切換,自動模式下 XY 軸移動臺可快速批量測量,手動模式可作為微米級深度高度測量儀使用。
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