美國 Exicor HD 系列雙折射測量光學(xué)儀器

Name: 美國 Exicor HD 系列雙折射測量光學(xué)儀器Exicor® HD 系列
Brand: 其他品牌
Price: 16666 CNY
Availability: InStock

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產(chǎn)品名稱: 美國 Exicor HD 系列雙折射測量光學(xué)儀器

產(chǎn)品型號(hào): Exicor® HD 系列

產(chǎn)品特點(diǎn): 美國 Exicor HD 系列雙折射測量光學(xué)儀器，是專為重型大尺寸樣品打造的高精度雙折射檢測設(shè)備。基于核心的低級(jí)別雙折射測量技術(shù)與 PEM 光彈性調(diào)制器，實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)測量精度，全鋼底座結(jié)構(gòu)支持最高 5.4 噸、2 米見方的超大樣品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓、光掩膜、大型光學(xué)元件的雙折射與應(yīng)力檢測。

美國 Exicor HD 系列雙折射測量光學(xué)儀器 的詳細(xì)介紹

美國 Exicor HD 系列雙折射測量光學(xué)儀器

核心技術(shù)與性能優(yōu)勢(shì)

Exicor® HD 系列基于 Hinds Instruments 的 PEM（光彈性調(diào)制器）雙折射測量技術(shù)，突破傳統(tǒng)設(shè)備的測量局限，實(shí)現(xiàn) 0.005 nm 級(jí)的超高精度雙折射檢測。全鋼底座的重型設(shè)計(jì)，解決大尺寸、大重量樣品的測量穩(wěn)定性問題，確保從 400mm 到 2000mm 全規(guī)格樣品的測量精準(zhǔn)性。

半導(dǎo)體行業(yè)專屬應(yīng)用

設(shè)備專為半導(dǎo)體行業(yè)打造，適配半導(dǎo)體晶圓、光掩膜的雙折射與應(yīng)力檢測，自動(dòng)化掃描軟件可快速完成常規(guī)評(píng)估，為半導(dǎo)體制造工藝優(yōu)化提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐。同時(shí)支持定制化波長、高分辨探頭，滿足不同工藝環(huán)節(jié)的檢測需求。

全場景檢測能力

除半導(dǎo)體行業(yè)外，設(shè)備還廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件、玻璃、聚合物等材料的雙折射與應(yīng)力分布檢測，覆蓋從科研實(shí)驗(yàn)室到量產(chǎn)生產(chǎn)線的全場景需求。靈活的加載方式與多規(guī)格型號(hào)，可根據(jù)客戶樣品尺寸、重量定制化選型。