是日本若井田科學(xué)推出的超高真空測量設(shè)備,專為半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等高真空 / 超高真空工藝場景設(shè)計,為自動化真空系統(tǒng)提供穩(wěn)定可靠的壓力監(jiān)測與控制支持。
采用減少軟 X 線效應(yīng)的 B-A 型 UV-81 測量球,并對本體進行精密校正,有效降低測量誤差,確保在超高真空環(huán)境下也能讀取可靠數(shù)值。設(shè)備可實現(xiàn) 9.9×10?1~1.0×10?? Pa 的寬量程測量,支持 5 段自動量程切換,無需手動調(diào)節(jié)即可覆蓋不同真空度的測量需求,大幅提升操作便利性。
設(shè)備支持豐富的外部控制功能,可通過數(shù)字開關(guān)任意設(shè)置 2 點壓力外部接點,同時提供 BCD 輸出、各量程 5V 模擬輸出、燈絲遠程 ON/OFF 控制、燈絲斷線信號等多種控制信號,可直接接入自動化裝置,實現(xiàn)真空系統(tǒng)的遠程監(jiān)控與工藝聯(lián)動控制,適配自動化生產(chǎn)線上的高真空工藝應(yīng)用。設(shè)備自帶數(shù)字顯示界面,可清晰顯示真空壓力值與工作狀態(tài),同時配備發(fā)射檢查、零點調(diào)整等功能旋鈕,支持現(xiàn)場校準與參數(shù)設(shè)置,操作界面布局清晰,新手也能快速上手。
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