是日本若井田科學(xué)推出的寬量程中低真空測(cè)量設(shè)備,專(zhuān)為工業(yè)真空系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室真空實(shí)驗(yàn)裝置、半導(dǎo)體工藝前級(jí)真空、真空鍍膜設(shè)備等場(chǎng)景設(shè)計(jì),為真空度從 1×10??~2×10?1 Pa 的寬范圍真空段監(jiān)測(cè)提供穩(wěn)定、精準(zhǔn)、可靠的數(shù)據(jù)支持。
設(shè)備采用高性能特殊皮拉尼測(cè)量球,采用金屬制造工藝,具備優(yōu)異的抗污染和穩(wěn)定性,可在真空環(huán)境下保持精準(zhǔn)測(cè)量。測(cè)量范圍支持 3 檔分段切換,分別覆蓋 I 段 1×10?~×103 Pa、II 段 2×103~2×102 Pa、III 段 2×102~2×10?1 Pa,通過(guò)前面板量程旋鈕即可實(shí)現(xiàn)快速切換,無(wú)需復(fù)雜調(diào)試,即可覆蓋不同真空工況,操作便捷高效,大幅提升現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)與設(shè)備控制的效率。
整機(jī)配備高精度指針式表盤(pán),刻度清晰直觀,可直接讀取真空壓力值(單位 Torr),讀數(shù)直觀不易疲勞。面板設(shè)有 POWER 電源開(kāi)關(guān)、MEASURE 測(cè)量指示燈、RECORD 記錄開(kāi)關(guān)等控制部件,同時(shí)配備零點(diǎn)調(diào)整(ZERO ADJ)、記錄計(jì)調(diào)整(REC.ADJ)等功能接口,支持現(xiàn)場(chǎng)快速校準(zhǔn)與參數(shù)設(shè)置,確保測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與長(zhǎng)期穩(wěn)定性。設(shè)備自帶各量程滿(mǎn)刻度 10mV 記錄輸出端子,可直接連接外部記錄儀、數(shù)據(jù)采集卡或自動(dòng)化控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)真空壓力數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)記錄、遠(yuǎn)傳監(jiān)控及生產(chǎn)線聯(lián)動(dòng)控制,適配自動(dòng)化真空生產(chǎn)線、實(shí)驗(yàn)室長(zhǎng)期實(shí)驗(yàn)等多種應(yīng)用場(chǎng)景。
整機(jī)采用堅(jiān)固工業(yè)級(jí)金屬外殼,結(jié)構(gòu)穩(wěn)固耐用,尺寸為 252×120×210mm,重量 3.5kg,機(jī)身布局合理,便于安裝在真空設(shè)備控制柜、實(shí)驗(yàn)室操作臺(tái)或工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)機(jī)柜中。設(shè)備采用 AC100V 供電,功耗僅 11W,節(jié)能低耗,長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定可靠,維護(hù)成本低,可在實(shí)驗(yàn)室、工廠、半導(dǎo)體制造車(chē)間等多種環(huán)境中穩(wěn)定工作。
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