是日本若井田科學(xué)推出的寬范圍真空測(cè)量設(shè)備,專為真空鍍膜、半導(dǎo)體工藝、實(shí)驗(yàn)室真空實(shí)驗(yàn)裝置、質(zhì)譜儀、表面處理設(shè)備等場(chǎng)景設(shè)計(jì),為真空度從寬范圍真空段的精準(zhǔn)、穩(wěn)定、全量程監(jiān)測(cè)提供專業(yè)解決方案。
設(shè)備采用獨(dú)特的復(fù)合式測(cè)量原理,集成皮拉尼真空計(jì)(PIRANI)和電離真空計(jì)(ION)兩大核心單元。其中 WVG-1T 型號(hào)覆蓋 20~2×10?? Pa 的測(cè)量范圍;WVG-3T 型號(hào)擴(kuò)展至 200~2×10?? Pa,兩者均支持分段切換,通過面板旋鈕即可完成量程切換,操作便捷,無需復(fù)雜調(diào)試即可適配不同真空工況。
作為寬量程真空計(jì),WVG-1T/WVG-3T 系列提供豐富的外部接口,包括各量程滿刻度 10mV 的記錄輸出端子(REC OUT),可直接連接外部記錄儀、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)或自動(dòng)化控制柜,實(shí)現(xiàn)真空壓力數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)采集、遠(yuǎn)程監(jiān)控及生產(chǎn)線聯(lián)動(dòng)控制。設(shè)備采用 SUS 制造的專用測(cè)量球,WVG-1T 搭配 VG-51 球,WVG-3T 搭配特殊皮拉尼球,確保在高真空環(huán)境下的測(cè)量精度與使用壽命。
整機(jī)采用堅(jiān)固工業(yè)級(jí)金屬外殼,尺寸為 443×120×330mm,重量 10kg,結(jié)構(gòu)穩(wěn)固耐用,散熱性能優(yōu)異。設(shè)備采用 AC100V 供電,功耗 53W,長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定可靠,維護(hù)成本低,可在實(shí)驗(yàn)室、工廠生產(chǎn)線、半導(dǎo)體制造車間等多種環(huán)境中穩(wěn)定工作。
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